對於真空鍍膜機設備的分類,到底了解多少?
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度(dù)下進(jìn)行的鍍膜設備,包括真空離子蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、
MBE分子束(shù)外延(yán)鍍膜機和PLD激光(guāng)濺射沉積鍍膜機等很多種。
主要是分成蒸發和濺射兩種。
在真空鍍膜設備中需要鍍膜的被成(chéng)為基片(piàn),鍍的材料被成為(wéi)靶材(cái)。
基片與靶材同(tóng)在真空腔中。
蒸發鍍膜一般是加熱靶材使(shǐ)表(biǎo)麵組分以(yǐ)原(yuán)子團或離子形式被(bèi)蒸發出來,並且沉降在基片表麵,通過成(chéng)膜過程形成薄膜。
真空鍍膜機對於濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟(hōng)擊靶材,並使表麵組分以原子團或離子形式(shì)被濺射出來,
並且最終沉積(jī)在基片(piàn)表麵,經曆成膜(mó)過程,最終(zhōng)形成薄膜。爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或它們(men)的組合製成的雙(shuāng)層水冷結構。
根據(jù)工(gōng)藝要(yào)求選擇不(bú)同規格及類型鍍膜設備,其類型有電阻蒸發(fā)真空鍍(dù)膜設備、電子束蒸發真空鍍膜設備、
磁控濺射(shè)真空鍍(dù)膜設備、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反應濺射真空(kōng)鍍膜設備、空心陰(yīn)極離子鍍和多弧(hú)離子鍍等。
夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式,用戶可根據(jù)片尺寸及形狀提出相應要求(qiú),轉動的速度範圍及轉動精度:普通可調及(jí)變頻調速(sù)等。