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真空鍍膜機器幾種常用的真空計

作者: 來源: 日期:2016-03-25 10:42:02 人氣:4215
        電阻真空計(又叫皮喇尼真空計): 
        它主要由電熱絲、外殼(ké)和(hé)支架構成,主要是根據在低(dī)壓下,氣體(tǐ)的熱傳導係數與壓強成正比的方式工作的。上(shàng)麵開口處與被測真空係統相連接(jiē),熱絲采(cǎi)用電阻溫度係數大的金屬絲做成,兩支支架引線與測量線路連(lián)接。當壓強降低的時候,由於氣體熱傳導散失(shī)的熱量減小,因此當熱絲加熱電流穩(wěn)定時候,則(zé)熱絲溫度就上升,熱絲(sī)的電阻就增大,用測量熱絲電阻(zǔ)值的大小來間接測量壓強。

         磁控放電真空計: 
        工作原理:在放電開始時,由於空間遊離(lí)電子向陽極運動時,在正交電磁場作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進,又因為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽極,而是穿過陽極,然後受到對麵陰極的拒斥,又複返回。這樣反複(fù)多(duō)次才可能打上陽極。由於電子路程大大加長,故碰撞及電離(lí)的分子數增加,使得在較低壓強(10-4帕(pà)以下)仍維持放電(也稱潘(pān)寧放電)。
         目(mù)前比較多的型號(hào)有PKR251、GI-PARY 

          放電管真(zhēn)空計:

         在玻璃管中封入兩個金屬電(diàn)極,在其上加上數千伏的直流高電壓,在一定的壓強(qiáng)範圍內(1*10-3~2*10托)內就能(néng)引起自持放電,通過(guò)放電顏色來判定其真空度 。 目前為止此種真空計已經很少使用,因為(wéi)其誤差大,容易損壞,而(ér)且壽命不長。

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