排氣係統為鍍膜機真(zhēn)空係統的重要部分,主(zhǔ)要有由機械泵、增壓泵(主要介(jiè)紹羅茨泵)、油擴散泵三大部(bù)分組(zǔ)成。今天
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機械泵是應用最廣泛(fàn)的一種低真空泵,它是(shì)用油來保持密封效果並依靠機械的方法不斷(duàn)的改變泵內吸氣空腔的體積(jī),使被抽容器內氣體的體積不(bú)斷膨脹從而獲得真(zhēn)空(kōng)。 機械泵有很多種,常用(yòng)的有滑閥式(shì)(此主要應用於大型設備)、活塞往複式、定(dìng)片(piàn)式和旋片式四種類型。 機械泵常常(cháng)被用來(lái)抽除幹燥的空氣(qì),但不能(néng)抽除(chú)含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除永久性的氣體,但是對水氣沒有好的效(xiào)果,所以它不(bú)能(néng)抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在(zài)定子裏麵(miàn)但與定子不同心軸,象兩個內切(qiē)圓,轉子槽(cáo)內裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。
它的兩個彈片交替起著兩方麵的作(zuò)用,一(yī)方麵從進氣口吸進氣體,另一方(fāng)麵壓縮已經吸進的氣體,將氣體排出泵外。轉子每旋轉一周(zhōu),泵完成兩次吸氣和兩次排氣。當泵連續順時針轉動時,旋(xuán)片泵不(bú)斷的通過進氣口吸入氣體,又(yòu)從排氣口(kǒu)不斷的排出泵外,實現對容器抽氣的目的。為了提高泵(bèng)的極限(xiàn)真空度,均將泵的定(dìng)子(zǐ)浸在(zài)油裏麵這樣,在各處的間(jiān)隙中及有害空間裏麵經常保持足夠的油,把空隙填滿,所以油一方麵起(qǐ)到(dào)了潤滑作用,另一方麵又起了密封和堵塞縫隙及有害空間的作用,防止氣體分子通過各種渠道反流到壓強低(dī)的(de)空間去(qù)。
機械泵是從大氣開始(shǐ)工作的,它的主要參數有極限真(zhēn)空,抽氣速率,此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵(bèng)可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空(kōng),雙級機械泵可以將(jiāng)容器從大(dà)氣抽到6.7*10-2帕,甚至(zhì)更高。
抽氣速率,是指旋片泵按額定轉數(shù)運轉時,單位時間內所能排出氣體的體積,可以用下公式計算(suàn):
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示吸氣結束時(shí)空腔截麵積,L表示(shì)空腔長度,係(xì)數表示轉子每(měi)旋轉一周有兩次排氣過(guò)程,Vs表示當轉子處(chù)於水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內的(de)體(tǐ)積最大(dà),轉速為n。
機械泵排氣的效果還與電機的轉(zhuǎn)速及(jí)皮帶的鬆緊度有(yǒu)關係,當電機的皮帶比較鬆,電機轉速很慢的(de)時候,機(jī)械泵的排氣效果也會變(biàn)差,所以要經常保養,點檢,機械泵油的密封效(xiào)果也需要常(cháng)常點檢,油過少,達不到密封效果,泵內會漏氣,油(yóu)過多,把吸(xī)氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米即可。