真空鍍膜塗層膜厚測量方式?
作者: 來源: 日期:2021-07-14 12:19:06 人氣:2688
我們日常生活中,很多生活物品都(dōu)經過鍍膜(mó)機鍍上了一層膜層,讓產品不僅變得更美觀,也更實(shí)用。但(dàn)是很多人會有一個疑問,那(nà)既然是鍍(dù)了一層膜層,薄膜(mó)肯定是有厚度大小的,那(nà)麽(me)薄膜厚度具體多厚呢,以及(jí)怎麽去測量(liàng)?
薄膜必(bì)須沉積在基底之上, 所以離開了基片也就無從談(tán)薄膜沉(chén)積的問題。基片的清洗好壞又(yòu)對薄膜的質最有極共重要的影(yǐng)響。同時在薄膜的製作中還必須知道薄膜的厚度(dù),脫離了薄(báo)膜的(de)厚度來(lái)談薄膜性質的測最也(yě)是亳無意(yì)義(yì)的。 所以(yǐ), 膜厚的測量和基片(piàn)的清洗可以說是和薄膜(mó)製作(zuò)相關的重要技術(shù)。一般(bān)所謂的厚度是指兩個完全平(píng)整的平(píng)行平麵之間(jiān)的距(jù)離(lí),這個概念是一個幾何概念。
理想的薄膜厚度是指基(jī)片表麵和薄膜表麵之間的距離。在薄膜形貌的三維度量中,相對於薄膜的厚度來講(jiǎng),其他兩(liǎng)維的度量可以說是無窮大。由於實際上存在的表(biǎo)麵是不平整和不連續的,而且薄膜(mó)的內部還可能存(cún)在(zài)著氣孔、雜質、晶格(gé)缺陷(xiàn)和表麵吸附分子(zǐ)等等,所有要(yào)嚴格地(dì)定義和精確地測量薄(báo)膜的厚度(dù)實際上是很困難的。
膜厚的定義位當根據測址的(de)方法和測址的(de)目的決定。 因此,同一個薄膜(mó),使用不同的測量方法會得到不同的結果, 即不(bú)同的厚度。
在薄膜油(yóu)測量中的表麵並不是一個(gè)幾何的概念(niàn),而是一個 物埋概念,是指表麵分子(原子)的集(jí)合。 平均表麵是指表麵原(yuán)子所有的點到這個麵的距離代數和等於零, 平均表麵是(shì)一個兒何概念。
我們通常將基片的一側的表麵分子的集(jí)合的平均表(biǎo)麵稱為基片表麵;薄膜上不和基片(piàn)接觸的那一(yī)側(cè)的表麵的平均表麵稱為薄膜的形狀表麵,將所測量的薄膜原子重新排列,使其密(mì)度和(hé)大塊狀固體材料(liào)完全一樣且均勻的分布在基片表(biǎo)麵上,這時平均表麵稱(chēng)為薄(báo)膜質量等價表麵;根據所測量薄膜(mó)的物(wù)理性質等效為一(yī)種長度和寬度與所測量(liàng)的薄膜一樣的大塊固體材料的薄膜,這時的平(píng)均表麵稱為(wéi)薄膜物性等價表麵。 形狀膜厚是比較接近(jìn)於直觀形式的膜厚, 通常以(yǐ)µm為(wéi)單位; 質量膜厚反映了薄膜(mó)中包含物質為多少,通常 以 µg/cm#8217;為單位, 物性膜厚在實際使用上(shàng)較有用, 而且比較容易測量。
由於實際(jì)表麵並不平整(zhěng),同時薄膜製作過程中又不可避免地要(yào)有各種缺(quē)陷、 雜質和吸附分(fèn)子等存在(zài),所以不管用(yòng)哪 一種方法來定義和測量膜厚(hòu),都是一個平均值,而且足包括了雜質、缺陷以及(jí)吸附(fù)分子在內(nèi)的薄膜的厚度值。
真空鍍膜機鍍(dù)膜是在真空(kōng)腔體下(xià)進行鍍膜的,對於測量膜厚度來說,是需要這方麵專業的測量(liàng)儀才能測出厚度大小。