超大型板材管材真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:16:58 人氣:25084
超大型板材管材(cái)真空鍍膜機

工作原(yuán)理

離子鍍是真空室中,利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣(qì)體離(lí)子或被蒸發物質粒子轟擊(jī)作用的同時,將(jiāng)蒸發(fā)物或反應物沉積在基片上(shàng)。離(lí)子鍍(dù)把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結(jié)合起來,不僅能明顯地改(gǎi)進了膜質量,而且還擴大了薄膜(mó)的應用範圍。其優(yōu)點(diǎn)是薄膜附(fù)著力(lì)強,繞射性好(hǎo),膜材廣泛(fàn)等。多(duō)弧離子鍍與一般的離子鍍有著(zhe)很大的區別。多弧離子鍍采(cǎi)用的是弧光放電,而並不是傳統離子鍍(dù)的輝(huī)光放電進行沉積。簡單的(de)說,多弧離子鍍的原理(lǐ)就是把陰極靶作為蒸發(fā)源,通(tōng)過靶與陽極殼體(tǐ)之間的弧光放電,使靶材(cái)蒸發(fā),從而在空間中形成等離(lí)子體,對基體進行沉積。

應用範圍

可(kě)以鍍製不鏽鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜,也可鍍製合金(jīn)膜或化合(hé)物,如TiN\TiAlN\CrN膜等,臥(wò)式多弧離子鍍膜機主要針對大麵積五金工件鍍裝(zhuāng)飾膜或(huò)者功能膜(mó),適合於在不鏽鋼板、不鏽鋼(gāng)管(guǎn)、不鏽鋼門等工件表麵鍍膜。

產品特點

1)、此類設備真(zhēn)空室最大(dà)尺寸能實現 φ5000X10000MM(長)
2)、是(shì)在大(dà)型板材、管材上鍍製各類裝飾膜層及功能膜膜層的適合設備(bèi)。

技術(shù)參數表

HLB係列大型(xíng)板材管材真空鍍(dù)膜機     
型號HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空室尺(chǐ)寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真空機組雙KT800擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴(kuò)散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組*4套
鍍膜係統專(zhuān)用(yòng)多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧(hú)靶(bǎ)(可選配)
輔助鍍膜係統低(dī)溫(wēn)離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統)
充氣係統質量流量計
控製方式手動或全自動(dòng)
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極(jí)限真空5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
備注以上設備(bèi)參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實際工(gōng)藝要求(qiú)設計(jì)訂做
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