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如何掌控真空鍍膜的均勻性

作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2715
如何(hé)掌控(kòng)真空鍍膜的(de)均勻性
我們先來認識下怎(zěn)麽調試鍍膜(mó)機(jī),因為(wéi)掌握調(diào)試鍍膜機是使用鍍膜(mó)機的關鍵怎麽調試鍍膜機(jī)
1、測試設備的抽真空速度,在測試過程中(zhōng)檢(jiǎn)查漏氣情況與各真空泵的性能(néng);
2、測試設備的密封性能,就是抽到極限後保壓1小時看壓降是否達標,同時排除細小的漏孔;
3、產品試作,檢驗其他的性能,比如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如(rú)果有工藝保證的話就繼續打樣並作測試。
5、所有的測試應作記錄,並有記錄人簽字以及有使用部門(mén)或工程部門的人確認(rèn)簽(qiān)字(zì)

怎麽掌(zhǎng)控真空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍膜機原理的不同(tóng)分(fèn)為很多種類,僅僅因為都需要高真空度而擁有統一名稱。所以對於不同原理的真空(kōng)鍍膜(mó),影(yǐng)響均勻性的因素也不(bú)盡相同。並且均勻性這個概念本(běn)身也會隨著鍍膜尺度(dù)和薄膜成分而有著不同的意義,下麵分別說一下:

均勻(yún)性主要(yào)體現在3方麵:

1、厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙(cāo)度,在光(guāng)學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為(wéi)單位,約(yuē)為(wéi)100A),真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以輕鬆將粗糙度控製在可見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧(hú)離子鍍(dù)膜機的光學(xué)特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但(dàn)是如果是指原子層尺(chǐ)度上的均(jun1)勻度,也就是(shì)說要實現10A甚至1A的表麵平整,是現(xiàn)在真空鍍膜中主要的技術含量與(yǔ)技術瓶頸所(suǒ)在。
2、化學組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物(wù)的原子組分會由於尺度過小而很容易(yì)的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜(mó),如果濺控(kòng)濺射鍍膜機過程不科學,那麽實際表(biǎo)麵的組分並不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜並非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在。
3、晶格有序度的均勻性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術(shù)中的熱點問題。 
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