真空鍍膜機的原理和各部（bù）件分析
真空鍍膜機（jī）是目前製作真空條件應用最為（wéi）廣泛的（de）真空設備，一般用真空室、真空機組（zǔ）、電氣控製（zhì）櫃三大部分組成，排氣係統（tǒng）采用“擴散泵+機械泵+羅茨（cí）泵+低溫冷（lěng）阱+polycold”組成。本（běn）公司專業從事真空鍍膜設（shè）備的研發與生產擁有經（jīng）驗豐富的技術團隊及優質的售後服務隊（duì）伍為您解（jiě）決設備在使用過程中遇到（dào）的任何問題（tí）。下麵，詳細（xì）介紹真空鍍（dù）膜機的各部分組成及其工作原理。
一（yī）、真空主體（tǐ）——真空腔根（gēn）據加（jiā）工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣（yàng），目前應用多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔（qiāng）體由不鏽鋼（gāng）材料製作（zuò），要求不生鏽、堅實等，真空（kōng）腔各（gè）部分有連接閥（fá），用來連接各抽氣泵（bèng）浦（pǔ）。
二、輔助抽氣係統 ：排氣係（xì）統為鍍膜機真空係統的重要部分，主要（yào）有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油（yóu）擴散泵三大部分組成。此排氣係統采用“擴散泵+機（jī）械泵（bèng）+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成（chéng）。排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小（xiǎo）於（yú）2.0*10-2PA左右的低真空狀態，為擴散泵後繼抽真空提供前提（tí），之後當擴散泵抽真空腔的時（shí）候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，以這樣的方式完成抽氣（qì）動作。

機械（xiè）泵：也叫前級泵，機械泵是（shì）應用廣泛的（de）一種低真空泵，它是用油來保持密封效果並依靠機械（xiè）的方法不斷的改變泵（bèng）內吸（xī）氣空腔的體積（jī），使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
1.機械泵的分類：機械泵（bèng）有很多（duō）種（zhǒng），常用（yòng）的有滑閥式(此主要應用於大型設備)、活塞往複式、定（dìng）片式和旋片式（shì）(此目前應用最廣泛，本文主要介（jiè）紹)四（sì）種類型。
2.機械泵是從大氣開始（shǐ）工作的，它的（de）主要參數（shù）有極限真空，抽氣速率，此為設計與選用機械泵的重（chóng）要（yào）依據。單級泵（bèng）可以（yǐ）將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極（jí）限真空，雙級機械泵可以將容（róng）器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更（gèng）高。抽氣速率，是指旋片泵按額定轉數運轉時（shí），單位時間內所能排出氣體的體積，可以用下公式計（jì）算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截麵積，L表示空腔長度，係數表示轉子每旋（xuán）轉一周有兩次排氣過程，Vs表示當轉子處於水平位置的時候，吸氣結束，此時空腔內的體積大，轉速為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶的鬆緊度（dù）有關係，當電機的皮帶比較鬆，電機轉速很慢（màn）的時候，機（jī）械泵的排氣效果也會變差，所以要經常保養，點檢，機械泵油（yóu）的密封效（xiào）果（guǒ）也需要常常點檢，油過少，達不到密封效果，泵內會漏（lòu）氣，油過多，把吸氣孔堵塞，無法吸氣和排氣，一般，在油位在線下0.5厘米即可。
3.機械泵常常被用來抽除幹燥的空氣（qì），但不（bú）能（néng）抽除（chú）含氧量過高、有爆（bào）炸性（xìng）和腐蝕（shí）性的氣體，機械泵一般被用來抽除永久性的（de）氣體，但是對水氣（qì）沒有好的效果，所以（yǐ）它不能抽除水氣。旋片泵（bèng）中（zhōng）起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等，轉子在定子裏麵（miàn）但與定子不（bú）同心軸（zhóu），象兩個（gè）內切圓，轉（zhuǎn）子槽內裝有兩片彈片，兩彈片中（zhōng）間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。

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