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真空蒸鍍、濺鍍、離子鍍

作者: 來源: 日期:2020-12-25 13:17:41 人氣:2892

真空(kōng)蒸鍍、濺鍍、離子鍍 

真空鍍主要包括真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍幾種類型,它們(men)都是采用在(zài)真空(kōng)條件下,通(tōng)過蒸餾或濺射等方式在(zài)塑件表(biǎo)麵沉積各種金屬和非金屬(shǔ)薄膜,通過(guò)這樣(yàng)的方式可以(yǐ)得到非常(cháng)薄(báo)的表麵鍍層,同時具有速度快附著力好的突出優點,但是價格也較高,可以進行操作的金屬類(lèi)型較少,一般用來作較高檔(dàng)產品的(de)功能性鍍層(céng)


真空蒸鍍法是在高(gāo)真空下為金屬(shǔ)加熱,使其熔融、蒸發,冷卻後在樣品表麵形成金(jīn)屬薄膜的方法,鍍層厚度為0.8-1.2um。將成形品表麵的微小凹凸部分填平(píng),以獲得如鏡麵一樣的表麵(miàn),無(wú)任是為了得到反射鏡作用而實施真空蒸鍍,還是對密接性較低的奪鋼進行真空蒸鍍時,都必須進行底麵塗布處理。


濺(jiàn)鍍通常(cháng)指的是磁控濺鍍,屬於高速低溫濺鍍法。該工藝要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰性氣體氬氣(Ar),並在塑膠基材(陽極)和金屬靶材(陰(yīn)極)之間加上高壓直流電,由於輝光放電(diàn)(glow discharge)產生的電子激發惰性氣體(tǐ),產生等(děng)離子體,等離子體將金屬靶材的原(yuán)子轟出,沉積在塑(sù)膠基材上。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導電的陶磁(cí)材料則使用RF交流濺鍍。


離子鍍是在真空條件下,利(lì)用氣體放電(diàn)使氣體或被蒸發物(wù)質部分(fèn)電離,並在氣體離子或被蒸發物質離子(zǐ)的(de)轟擊下,將蒸發物質或其反應(yīng)物沉積在基片上的方法(fǎ)。其中包括磁控濺射離(lí)子鍍、反應(yīng)離子(zǐ)鍍、空心陰極放電離子鍍(空心陰極蒸鍍法)、多弧離(lí)子鍍(陰(yīn)極電弧離子鍍)等

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