隨（suí）著科（kē）技的發展，真空鍍膜工藝技術（shù）已經在：太陽能集（jí）熱管、太陽能電池、磁帶、光盤、半導體器件、光學器件、光電顯（xiǎn）示器件、玻璃、工模具和切削刀具的超硬塗層、汽輪（lún）機葉片的抗熱塗層、五（wǔ）金製品、手表、手機（jī）和眼鏡的裝飾、塑料製品金屬化、包裝用塑料薄膜（mó）等多個領（lǐng）域廣（guǎng）泛應用（yòng）。

真空鍍膜（mó）設備（bèi）有多種規格的（de）單室機和多室連續機。工藝方法上可分為（wéi）：真空蒸鍍、離子鍍、濺射（shè）鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。真空鍍膜設備的（de）運行性能（néng）直接影響（xiǎng）生產工藝、產品質量和生產，為了使設備的運行性能正常，必（bì）須建立和完善設備的；維護與維修製度、維護內容、維修標準等。

一、維護（hù）與維修（xiū）製度，為了使真空鍍膜設備在維護、維修（xiū）及生（shēng）產過程中出現問題能得到及時（shí）收集、傳遞、分（fèn）析和處理. 而製（zhì）定的（de）管理製度。

1.有完善的製度,如設備的使用操（cāo）作規程。維（wéi）修人員在維修時應掛放“正在維修”牌，並切斷電源以防（fáng）他（tā）人使用機器（qì）設備等.

2.在工廠生產管理中,設備的（de）維護（hù）與維（wéi）修是重要的（de）一方麵。應該有專職（zhí）的、能力強的維修人員負責。

二、設備的維護，維護可分為：日常維護和定期維護。

1.日常維（wéi）護就是在當（dāng）天生（shēng）產中發現設備有不良跡象，就馬上解決。發現機械泵的油少（shǎo）了就要添加，不要認為這（zhè）油是定期更換（huàn）的，等到了（le）時間在維護，可能泵的轉子就會磨（mó）損（sǔn）嚴重了。再比如工件（jiàn）轉架的（de）軸承（chéng）有些卡，就要更換軸承，而等到它徹底的壞了再換，問題可就大了（le），可能引起轉架電機燒毀等。

2.定期（qī）維（wéi）護，有人會問有（yǒu）了（le）日常維護還有必要定期維護嗎？其實每一種設備都有自己使（shǐ）用壽命，比如擴散泵用的矽油使用壽命為2年（nián）左右，我（wǒ）就規定1年半就把它換掉，這樣做（zuò）是不是浪費，我（wǒ）覺的不浪費，從設備服務（wù）於生產來說是值得的，老板最不希望看到的是（shì）機器在生產階段出現（xiàn）問題。隻要你把（bǎ）日常維護和定期維護做好了，在（zài）延長設備壽命的同時，生產過程中出現故障的幾率也大大降低，生產效率也提高了。

三、設（shè）備維修（xiū）：說到維修很多人都頭疼的是真空部分的漏氣，真空部分出了問題比較（jiào）麻煩，再加上很多（duō）公司沒有檢漏儀，這就要（yào）分階（jiē）段來找。真空抽不上去原（yuán）因可能有以下幾點：

1.也許是漏率（lǜ）偏高就（jiù）是我們常說的有漏氣；

2.也許是真空機組的抽氣能力不（bú）夠了，油（yóu）被汙染或氧化了；

3.也許是真空室內（nèi）太髒放氣。

或者是這幾種可能都有。出現問題（tí），首先（xiān）是要判斷，是不是（shì）拆裝過東西？會不會漏水？閥門打開（kāi）了嗎？根據現象判斷原因，然（rán）後再去根據判斷找問題，可能會收到事半功倍的效果。有（yǒu）次我們清洗弧蒸發源，清洗完裝（zhuāng）上一試抽真空比以前慢了，就懷疑是弧蒸發源漏氣，後來經過檢（jiǎn）查是弧蒸發源的一（yī）個密封圈本來是要更換的，在裝（zhuāng）配時認為還可以就（jiù）沒有更換，結（jié）果就造成了漏氣。