1)、固(gù)定筒3 圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構的(de)設計和周向(xiàng)對稱的固定方式,可保證其有足夠的強度和(hé)剛度,同時,還可阻止高溫濺射磨料對其內部零部件汙染,保證撥動盤15 轉動(dòng)的靈活性。
2)、圓(yuán)形軸承座2 的設計,保證軸承座安裝的(de)密封(fēng)性和(hé)垂直度;增大軸1 的直徑尺寸,加大軸承座2 中兩軸承的安裝間距,提高其自身的強度和剛度,保證轉動過程中軸1 的剛度和撥動盤15的旋轉靈活性、位(wèi)置重複的一致性(xìng)。
3)、裝載換位機構,通過擴大(dà)支承盤16 的直徑,使該機構在平(píng)麵方向的有效麵積增(zēng)大,可(kě)安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利於光路調整,提高光學薄膜質量;比較片12 由單片玻璃作為一個比較片單元,比較片采用空間(jiān)立(lì)體疊加安(ān)裝(zhuāng)方式,多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內,實現一次可放(fàng)置50~100 片比較片,解決
鍍膜機鍍製多(duō)層精密(mì)光(guāng)學(xué)薄膜,比較片數量少影響(xiǎng)鍍膜(mó)層數和精度的問題。
4)、定位盤6 與槽型(xíng)光藕17 的配合,通過槽型光藕來感(gǎn)知定位盤(pán)上三個(gè)均(jun1)分的120°狹縫,控製電機轉動停止。軸1 旋轉定位重複的一致性得到保證,帶動撥動盤15 完(wán)成準確的撥片動作(zuò)。
5)、 轉動(dòng)密封饋入機構引(yǐn)入威爾遜密封機構5,既保證電機(jī)9 通過齒輪齧合(hé)帶動軸1 的靈活轉動,又保證真空室對外部的密封作用。優化設(shè)計(jì)的真(zhēn)空鍍膜機多片式比較片裝置,其特(tè)點:(1)結構簡單,強度高,可靠性好;(2)比較片裝載數量(liàng)大,生產效率提高,可鍍(dù)製超多層精密光學薄膜(mó);(3)比較片直徑增大,提高薄膜監控(kòng)的精(jīng)度,降低對硬件係統的要求,係統容易(yì)實現自(zì)動控製;(4)維護保(bǎo)養費用低。
通過對真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置的優化設計,保證了比較片機構撥片轉動的靈活性和重複的(de)一致性,解決了比較片有效麵積(jī)小(xiǎo),光路調整不方便,光(guāng)信號信噪比差的問(wèn)題,又解決了比較片裝載數量少的問題,可以使現有(yǒu)的真空鍍膜機鍍製光學薄膜的質量大大提高,並且30 層以上的光學薄膜得以鍍(dù)製完成。實踐證明此比較片結構是有用的,可以在現代的光學真空鍍膜行業進行推廣和(hé)實施,