工(gōng)作原理
應用範圍
產品特點
技術參數表
SF係列電子(zǐ)束蒸(zhēng)發光學真空鍍膜機 | |||||||
型號 | SF-800 | SF-1200 | SF-1400 | SF-1600 | SFW-1000 | SFW-1200 | SFW-1600 |
真空室尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組(zǔ) | KT500擴散泵機組 | KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | KT500擴散(sàn)泵機組 | KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 |
鍍膜係(xì)統 | 電子槍蒸發源(yuán)、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源 | ||||||
充氣係統 | 壓(yā)強控製儀 | ||||||
控製方式 | 手動或半自動 | ||||||
膜厚監控係統(tǒng) | 石英晶體膜厚監控係統 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極(jí)限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考(kǎo),具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |