CJ係列磁控(kòng)濺射真空鍍膜機
日期(qī):2016-01-16 13:28:37 人氣:83707
CJ係列磁(cí)控濺射真空鍍(dù)膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺(jiàn)射”就是用荷能粒(lì)子(通常用(yòng)氣體正離子)轟擊物體,從而引起物(wù)體表麵原子從母體(tǐ)中逸出的現象。早在1842年(nián)Grove在實驗室(shì)中就發(fā)現了這種(zhǒng)現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均(jun1)勻電場(chǎng)和(hé)對數電場則分別(bié)用於平麵靶和同軸(zhóu)圓柱靶。電子在電場作用下(xià),加速飛向基片的(de)過程中與氬原子發生碰撞(zhuàng)。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生(shēng)電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用(yòng)於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩(wán)具、車燈反光(guāng)罩、手機按鍵外(wài)殼(ké)以及儀器儀表、塑料、玻璃(lí)、陶瓷(cí)、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電(diàn)膜等領(lǐng)域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠(gòu)可靠的鍍製預定(dìng)厚度的薄膜,並且濺射鍍(dù)膜可以在較大的表麵上獲得厚度(dù)均勻的(de)膜層;
2)、薄膜與基片(piàn)的附著(zhe)力強(qiáng)。部分(fèn)高能(néng)量的濺射原子產生不同程度的(de)注入現象,在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散(sàn)層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同(tóng)時濺射製備混合膜、化合膜(mó),還可濺射成TiN仿金膜(mó);
4)、膜層純度高,濺射膜層中(zhōng)不會混入坩鍋(guō)加熱(rè)器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔(fǔ)助源,無(wú)需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高(gāo)產能。
CJ係列磁控濺射真(zhēn)空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散(sàn)泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 直流或中(zhōng)頻電(diàn)源、鍍膜輔助(zhù)離子專用電源 |
充氣係(xì)統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式(shì) | 手動或全(quán)自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手(shǒu)動或全(quán)自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動(dòng) |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設(shè)備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂(dìng)做 |