真空鍍(dù)膜塗層膜厚測量方式?
作者: 來源: 日期:2021-07-14 12:19:06 人氣:2689
我們日常生活中,很多生活物品都經過鍍膜機(jī)鍍上了一層膜層,讓產品不僅變得(dé)更美觀,也更實用。但是(shì)很多人會有一個疑問,那既然是鍍了一層膜層,薄膜肯定是有厚度大小的,那麽薄膜厚度具體多厚呢,以(yǐ)及怎麽去測量?
薄膜必須沉積在基底之上, 所以離開了基片也就(jiù)無(wú)從(cóng)談薄膜沉積(jī)的(de)問題。基片的清洗好壞又對薄膜的質最有極(jí)共重要的影響(xiǎng)。同時在薄膜的製作中還必(bì)須知道薄膜(mó)的厚度,脫離了薄膜的厚度來談(tán)薄膜性質的(de)測最也是亳無意義的。 所以, 膜(mó)厚的測量和基片的清洗(xǐ)可以說是和薄膜製作相關的重要技術。一般所謂的厚度是指兩個完全平整的平行平麵之間的距離,這個概念是一(yī)個幾何概念。
理想(xiǎng)的薄膜厚(hòu)度是指基片表麵(miàn)和薄膜表麵之間的距離。在薄膜形貌的三維度量(liàng)中,相對於薄膜的厚度(dù)來講(jiǎng),其他(tā)兩維的度量可以說是無(wú)窮(qióng)大。由於實際上存在的表麵是不平整(zhěng)和不連續的,而且薄膜的內部還可能存在(zài)著氣孔、雜(zá)質、晶格缺陷和表麵吸附分子等等,所有要嚴格地定義和精確(què)地(dì)測量薄膜的厚度實際上是很困難的。
膜厚的定義位當根據測址的方法和測址(zhǐ)的目的(de)決定。 因此,同一個薄膜,使用不同的測量方法會得到不同的結果, 即不同(tóng)的厚度。
在薄膜油測量中的表麵(miàn)並不是一個幾何的概念,而是一個 物(wù)埋概念,是指(zhǐ)表(biǎo)麵分子(原子)的集合。 平均表(biǎo)麵是指表麵原子所有的點到這(zhè)個麵的距離代數和等於零, 平均表麵是一個兒何概念。
我們通(tōng)常將基片的一側的表麵分子的集合的平均表(biǎo)麵稱為基片表麵;薄膜上不和基片接觸的那一側的(de)表(biǎo)麵的平均表麵(miàn)稱為薄膜(mó)的形(xíng)狀表麵,將所測(cè)量的薄膜原子重新排列,使其密度和大塊(kuài)狀固(gù)體材料完全一(yī)樣且均(jun1)勻的分布在基片表麵上,這時平均表麵稱為薄(báo)膜質量等價表麵;根據所(suǒ)測(cè)量(liàng)薄膜的物理(lǐ)性質等效為一種長度和寬度與所測量的薄(báo)膜一樣(yàng)的大塊固體(tǐ)材料的薄膜(mó),這時的平均表麵稱為薄膜物(wù)性等價表麵。 形狀膜厚是比較接近於直觀形式的(de)膜厚, 通常以µm為單位; 質(zhì)量膜厚反映了薄膜中包含物質為多少,通常(cháng) 以 µg/cm#8217;為(wéi)單(dān)位, 物性膜厚在實際使用上較有用, 而且比較容易測量。
由(yóu)於實際表麵並不平整,同時薄膜製(zhì)作過程中又不可避免地要有(yǒu)各種缺陷、 雜質和(hé)吸附分子等存在,所以不管用哪(nǎ) 一(yī)種方法來定義和測量膜(mó)厚,都是一個平均值(zhí),而且足包括(kuò)了(le)雜質、缺陷以及吸附分子在內的薄膜的厚度值。
真空鍍膜機鍍膜是在真空腔(qiāng)體下進行(háng)鍍(dù)膜的,對於(yú)測量膜厚度來說,是需要這方麵專業的測量儀才能測出厚度大小。